测量真空度通常有以下几种方法:
压力计法
使用精密压力计,如电子压力计、毛细管压力计等,直接测量真空系统内的压力。
质谱法
将待测气体引入质谱仪,通过分析气体分子的质量和相对含量来推算真空度。
热导法
利用热导材料在真空和非真空状态下的导热差异来测量真空度。
气体放电法
利用气体放电的特性,通过测量电流的大小来推算真空度。
气体流量法
通过测量气体在真空状态下的流量和压力差来计算真空度。
热膨胀法
利用气体在真空中的膨胀特性来测量真空度。
离子计法
利用离子在真空中的运动规律来测量真空度。
热偶真空计
利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度。
电离真空计
由筒状收集极,栅网和位于栅网中心的灯丝构成,通过测量离子流的大小来测量气体压强。
复合真空计
结合热偶真空计与热阴极电离真空计,测量范围广。
冷阴极电离计
利用外加磁场作用下阳极筒内形成的潘宁放电产生离子,根据收集的离子流大小来测定气体压强。
电阻真空计
利用加热元件的电阻与温度有关,元件的温度又与气体传导有关的原理,通过电桥电路来测量真空度。
麦克劳真空计 (压缩式真空计):
将气体压缩到一极小体积,然后比较开管和闭管的液柱差,利用玻义尔定律直接算出气体压强。
电容薄膜真空计
结合三种不同的规管,测量精度高、动态响应快,适用于超高真空测量。
选择哪种方法取决于所需的测量精度和真空度范围。每种方法都有其特定的应用场景和优缺点。
如果您需要更详细的操作步骤或对某种方法有特定的问题,请告诉我,我会尽力提供帮助